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LAPPING後清洗機( PLC)LAPPING後清洗機( PLC)
用於矽片(pian)LAPPING後(hou)倒(dao)角(jiao)前的(de)清(qing)洗(xi),去除(chu)前序(xu)留下的大顆(ke)粒、Slurry等,根(gen)據客(ke)戶需求(qiu),定製(zhi)工藝流(liu)程,達(da)到預(yu)期潔淨(jing)度(du)。

LAPPING後清洗機( PLC)

線切割後清洗機(PSC)線切割後清洗機(PSC)
用於矽(xi)片剝離(li)後倒角前(qian)的清洗,去(qu)除前序留下(xia)的大顆粒,有(you)機物(wu)等,根據客戶需(xu)求定(ding)製工藝流程,達到(dao)預期潔(jie)淨度。

線切割後清洗機(PSC)

邊拋後清洗機(EPC)邊拋後清洗機(EPC)
用(yong)於邊緣拋光(guang)後的清洗,去除拋光帶(dai)來的顆粒、有機物及(ji)金屬(shu),根據(ju)客戶需求,定製工藝流程(cheng),達到預期(qi)潔淨度。

邊拋後清洗機(EPC)

混合腐蝕機(Hybrid Etcher)混合腐蝕機(Hybrid Etcher)
用於Lapping後的矽片腐蝕,用酸液和(he)堿液(ye)對(dui)矽片表麵進行均(jun)一可(ke)控的腐(fu)蝕(shi),已(yi)改善其TTV表現,根據客戶(hu)需求,可兼(jian)備一定的清洗功能。

混合腐蝕機(Hybrid Etcher)

爐前清洗(HTC)爐前清洗(HTC)
用於矽片退(tui)火(huo)前的清洗,去除前序留下的顆粒(li)、有機物等(deng),根據客戶需求,定製工(gong)藝(yi)流程,達到預期潔淨度。

爐前清洗(HTC)

去蠟清洗(De-Wax Cleaner)去蠟清洗(De-Wax Cleaner)
用於(yu)矽片去蠟的清洗,去除矽片拋(pao)光背部的蠟層(ceng),達到工藝需求。

去蠟清洗(De-Wax Cleaner)

最終清洗機最終清洗機
用於矽片最終(zhong)出貨前的清洗,根據客戶需求進(jin)行槽(cao)體工藝流程的定製,以滿足(zu)金(jin)屬、顆粒、產量等條件。

最終清洗機

雙麵拋光後清洗機(DSPC)雙麵拋光後清洗機(DSPC)
用於雙麵拋光後的清洗,去除雙(shuang)麵拋光帶來(lai)的顆粒、有機(ji)物和金屬,為終清洗作準備,根據客戶需求,定製工藝流程,達到預期潔淨度。

雙麵拋光後清洗機(DSPC)

堿腐蝕機(Alkali Etcher)堿腐蝕機(Alkali Etcher)
用於Lapping後的矽片腐蝕,用堿(jian)液對矽片表(biao)麵進行(xing)均一可控的腐蝕,已改(gai)善其(qi)TTV表現,根據客戶需求,可兼備一定的清洗功能(neng)。

堿腐蝕機(Alkali Etcher)

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用於對出貨用的片盒進行有效幹燥,以確保其潔淨度,為出貨的矽片提供潔淨環境。
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