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LAPPING後清洗機( PLC)LAPPING後清洗機( PLC)
用於矽片LAPPING後(hou)倒角(jiao)前的清洗,去除(chu)前(qian)序留下(xia)的大顆(ke)粒(li)、Slurry等,根(gen)據(ju)客戶需求(qiu),定製(zhi)工藝流程(cheng),達(da)到預(yu)期(qi)潔(jie)淨(jing)度(du)。

LAPPING後清洗機( PLC)

線切割後清洗機(PSC)線切割後清洗機(PSC)
用於(yu)矽(xi)片剝(bo)離後倒角前的清(qing)洗,去(qu)除前序留下的大(da)顆粒,有機物等(deng),根據客戶(hu)需(xu)求定(ding)製工藝(yi)流程,達到(dao)預期潔淨度。

線切割後清洗機(PSC)

邊拋後清洗機(EPC)邊拋後清洗機(EPC)
用(yong)於邊緣(yuan)拋光(guang)後的(de)清洗,去除拋光帶來的顆粒、有機(ji)物及(ji)金(jin)屬,根據客(ke)戶需求,定製工藝流(liu)程,達到預期潔淨度。

邊拋後清洗機(EPC)

混合腐蝕機(Hybrid Etcher)混合腐蝕機(Hybrid Etcher)
用於Lapping後的矽片(pian)腐(fu)蝕(shi),用酸液(ye)和堿(jian)液對(dui)矽片表麵進行(xing)均一(yi)可(ke)控(kong)的腐蝕,已(yi)改(gai)善其TTV表(biao)現(xian),根據客戶需求,可兼(jian)備一定的清洗(xi)功能。

混合腐蝕機(Hybrid Etcher)

爐前清洗(HTC)爐前清洗(HTC)
用於矽片退(tui)火前的清洗,去除前序留下的顆粒、有機物(wu)等,根據客戶需求,定製工藝流程,達到預期潔淨度。

爐前清洗(HTC)

去蠟清洗(De-Wax Cleaner)去蠟清洗(De-Wax Cleaner)
用於矽片去蠟(la)的清洗,去除矽片拋(pao)光背(bei)部的蠟層(ceng),達到工藝需求。

去蠟清洗(De-Wax Cleaner)

最終清洗機最終清洗機
用於矽片最終出(chu)貨前的清洗,根據客戶需求進(jin)行槽體工(gong)藝流程的定製,以滿足(zu)金屬(shu)、顆粒、產量(liang)等條件。

最終清洗機

雙麵拋光後清洗機(DSPC)雙麵拋光後清洗機(DSPC)
用於雙麵拋光後的清洗,去除雙(shuang)麵拋光帶(dai)來(lai)的顆粒、有機物和金屬,為終(zhong)清洗作準(zhun)備,根據客戶需求,定製工藝流程,達到預期潔淨度。

雙麵拋光後清洗機(DSPC)

堿腐蝕機(Alkali Etcher)堿腐蝕機(Alkali Etcher)
用於Lapping後的矽片腐蝕,用堿液對矽片表麵進行均一可控的腐蝕,已改善其TTV表現,根據客戶需求,可兼備一定的清洗功(gong)能。

堿腐蝕機(Alkali Etcher)

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